SiC生长初期C原子沉积过程的分子动力学模拟

河北大学硕士学位论文SiC生长初期C原子沉积过程的分子动力学模拟姓名：滕晓云申请学位级别：硕士专业：光学指导教师：李晓苇;于威2001.6.1SiC生长初期C原子沉积过程的分子动力学模拟作者：滕晓云学位授予单位：河北大学被引用次数：1次引证文献(1条)1.梁涛CVD法制备3C-SiC/Si薄膜研究[学位论文]硕士2006本文链接：