生产单晶硅制备及其应用工艺技术

01805741.1单晶硅晶片及单晶硅的制造方法201806781.6绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法302111781.0分离单晶硅埚底料中石英的工艺403112137.3单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法502802101.0直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法696120692.6抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置787103486掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法888108387.9单晶硅的制造方法和设备989103289.4一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构1090100791.9单晶硅生产装置1190102475.9制造单晶硅的设备1291102921.4单晶硅直径测定法及其设备1391102922.2单晶硅直径控制法及其设备1491102924.9单晶硅生产设备1591102923.0单晶硅生产设备1691102532.4单晶硅生产设备1791102343.7制造单晶硅的装置1895119376.7单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法1996102527.1单晶硅锭及其制造方法2097113523.1提拉单晶硅的装置2197120661.9直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针2297121626.6双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法2398100416.4通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品2498116827.2单晶硅－纳米晶立方氮化硼薄膜类P－N结及其制作方法2597113737.4低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用2698121350.2单晶硅片抗机械力的提高2798807859.7生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法2898807993.3用于单晶硅生长的非Dash缩颈法2999801049.9形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法3099812088.X热退火后的低缺陷密度单晶硅3199811709.9从低缺陷密度的单晶硅上制备硅－绝缘体结构3201131737.X标定单晶硅晶圆晶向的方法3300812335.7制备具有均匀热过程的单晶硅的方法3402111221.5单晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法35200710133581.6单晶硅高效复合切割方法及其切割系统36200710047776.9新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池37200710180002.3过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻38200710185125.6单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池39200710185126.0单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池40200710185123.7单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池41200710185124.1单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池42200710157175.3超声波清洗单晶硅片方法及其装置43200710151631.3使用金属污染及热处理识别单晶硅中的晶体缺陷区的方法44200610162854.5可反射出色域的电极结构以及单晶硅面板与显示装置45200580050178.6单晶硅的生长方法46200710018889.6单晶硅薄膜及其组件的制备方法47200710192803.1单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构48200710063644.5提高单晶硅太阳能电池减反射膜质量的方法49200810060274.4改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的方法及其装置5085100591非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置5185100856制备单晶硅片表面完整层的新途径5202281654.2一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器5389213391.0区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构5493200611.6单晶硅太阳电池微电机风扇凉帽5596236137.2单晶硅片各向异性腐蚀夹具5695224595.7用于制备薄膜的单晶硅辐射式加热器5797239008.1单晶硅炉传动轴用磁性液体密封装置5800224737.2单晶硅衬底双面抛光片5900225900.1单晶硅炉传动轴用磁性流体密封装置6001265431.0低氧碳单晶硅复投料自卸机构61200720039053.X一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽62200720192576.8超声波清洗单晶硅片装置63200410092027.4一种锌掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻64200310116749.4一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻65200410096670.4具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备6603808958.0单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片6703810538.1单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法68200510023460.7单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法69200510023461.1单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法7003818379.X提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法71200510062693.8涂覆有金属电镀层的单晶硅基片和垂直磁记录介质72200510059736.7直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法以及使用该掺杂剂的单晶硅的制造方法7303159798.X单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置7403132132.1平板单晶硅表面的改性方法7501821381.2用于制备低铁污染单晶硅的装置和方法7601819895.3用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法7702131185.4一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器7802804207.7用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法7902155236.3单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法80200310123043.0硅片和生产单晶硅的方法81200410001382.6单晶硅膜的制造方法82200310108926.4单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜的制备方法83200310124860.8通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品84200510112207.9单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方法85200610004057.4一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法86200510068987.1单晶硅液晶显示面板的驱动系统与方法87200510011753.3单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列制备方法88200410042603.4单晶硅微机械加工的电容式麦克风及其制造方法89200510050335.5用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法90200510027350.8单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法91200510027349.5单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法92200510098526.9纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法93200380108637.2利用坩埚旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法94200410088609.5一种单晶硅抛光片热处理工艺95200610024981.9单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法96200610024980.4单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法97200610026855.7单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜的制备方法98200610010099.9对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪99200610054245.8p型单晶硅片的表面处理方法100200610054246.2n型单晶硅片的表面处理方法101200610043184.5单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法102200610043185.X单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法103200610106431.1掺杂单晶硅硅化电熔丝及其形成方法104200610043186.4单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的制备方法105200610043187.9单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法106200610099146.1单晶硅锭和硅片、及其生长装置和方法107200510092880.0单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器108200510092319.2反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置109200610048750.1一种在单晶硅基底表面直接制备Cr-Si硅化物电阻薄膜的方法110200510094904.6单晶硅切方机构111200510111453.2制作单晶硅太阳电池绒面的方法112200510111455.1单晶硅太阳电池绒面的制备方法113200510136041.4单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺114200610149906.5生产单晶硅的方法115200610105331.7基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法116200610105332.1直拉法单晶硅生长过程中的熔体液面位置检测方法117200710037043.7在单晶硅片表面制备碳纳米管复合薄膜的方法118200710037045.6单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜的制备方法119200710017915.3单晶硅拉制炉用炭/炭保温罩的制备方法120200610080114.7反射式单晶硅液晶面板121200580006256.2用于单晶硅连续生长的系统122200710040549.3单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥的方法和它的一体化处理机123200710023967.1一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽124200610028783.X形成纳米单晶硅的方法和非挥发性半导体存储器制造方法125200610029378.X单晶硅切割废液的处理回收方法126200710106433.5单晶硅的培育工艺中溶液的液面位置监视装置127200810101680.0单晶硅横向微型MEMS皮拉尼计及其制备方法128200810060641.0一种低弯曲薄片单晶硅太阳电池烧结工艺129200810083479.4单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池130200810023591.9单晶硅或炭基单晶硅电极电解氧化处理有机化工污水方法131200810011318.4单晶硅片水基清洗剂132200710064876.2一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关133200710064879.6一种静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关134200810090977.1单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池135200810111608.6单晶硅炉传动装置136200810020206.5单晶硅太阳能电池表面处理用的制绒剂及其制造方法137200810040645.2混合图形化单晶硅的绝缘层上锗结构、方法及应用138200810079251.8单晶硅制备炉石英埚增容加料装置139200810042332.0磁场下制备单晶硅太阳能电池绒面的方法140200680051077.5单晶硅晶片的制造方法141200680051311.4单晶硅晶片的制造方法142200810145905.2单晶硅的提拉方法143200810213369.5超净工作台及单晶硅用原料的制造方法144200810072970.7单晶硅正温度系数片式热敏电阻器及其制备方法145200810072972.6金和镍掺杂单晶硅片式负温度系数热敏电阻及其制备方法146200810171923.8一种掺镓单晶硅太阳电池及其制造方法147200810122228.2一种基于单晶硅片检测红外光谱仪稳定性的方法148200810170672.1一种单晶硅片制绒的方法149200810234626.3一种单晶硅加料装置150200810200811.0一种在单晶硅片表面制备ZrO2复合薄膜的方法151200810122243.7一种制备单晶硅绒面的碱腐蚀溶液及方法152200810163097.2单晶硅太阳电池的制绒方法153200810163098.7单晶硅太阳电池绒面的制备方法15420081016254