018微米存储器光刻工艺参数的优化研究

复旦大学硕士学位论文0.18微米存储器光刻工艺参数的优化研究姓名：程高龙申请学位级别：硕士专业：微电子指导教师：刘冉200702270.18微米存储器光刻工艺参数的优化研究作者：程高龙学位授予单位：复旦大学本文读者也读过(4条)1.黎明深亚微米集成电路工艺制备中的缺陷问题研究[学位论文]20062.陈有梅紫外深度光刻的计算机模拟及误差修正[学位论文]20073.王建辉用于光刻胶烘干的热板的研制[学位论文]20034.刘雳颋紫外光刻加工误差的实验研究[学位论文]2008本文链接：